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| Titre : |
Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Emmanuel Defaÿ, Directeur de publication, rédacteur en chef |
| Editeur : |
Paris : Hermès science publications-Lavoisier |
| Année de publication : |
2011 |
| Collection : |
Traité EGEM |
| Sous-collection : |
Électronique et micro-électronique |
| Importance : |
455 p. |
| Présentation : |
ill. |
| Format : |
24 cm |
| ISBN/ISSN/EAN : |
978-2-7462-2562-6 |
| Note générale : |
Notes bibliogr. Index |
| Langues : |
Français (fre) |
| Catégories : |
Livres
|
| Tags : |
Diélectriques Couches minces ferroélectriques |
| Index. décimale : |
620.112 Propriétés des matériaux et essais non destructifs |
| Résumé : |
Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que ces matériaux soient bien maitrisés à l'état de céramique, les couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour les microsystèmes. Cet ouvrage est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations technologies abouties. |
Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium [texte imprimé] / Emmanuel Defaÿ, Directeur de publication, rédacteur en chef . - Paris : Hermès science publications-Lavoisier, 2011 . - 455 p. : ill. ; 24 cm. - ( Traité EGEM. Électronique et micro-électronique) . ISBN : 978-2-7462-2562-6 Notes bibliogr. Index Langues : Français ( fre)
| Catégories : |
Livres
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| Tags : |
Diélectriques Couches minces ferroélectriques |
| Index. décimale : |
620.112 Propriétés des matériaux et essais non destructifs |
| Résumé : |
Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que ces matériaux soient bien maitrisés à l'état de céramique, les couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour les microsystèmes. Cet ouvrage est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations technologies abouties. |
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